- 资讯公开站Semiconductor Engineering
负膨胀材料抵抗翘曲
Negative Expansion Materials Resist Warpage
摘要显示,半导体工程领域正在关注利用负膨胀材料来抵抗封装翘曲。文章指出,模塑化合物和底部填充胶(underfill)可以通过负膨胀特性改善热稳定性,从而减少因热膨胀系数不匹配导致的晶圆级或芯片级封装变形问题。
意义:封装翘曲是先进封装良率的关键瓶颈,负膨胀材料为热管理提供新思路,值得器件与封装工程师关注。
- 论文公开站arXiv
抑制表面介导退化以增强SiGeSn热稳定性
Enhanced thermal stability of SiGeSn by suppressing surface-mediated degradation
摘要显示,研究利用原位光谱椭偏仪在550°C等温退火下研究Si0.08Ge0.83Sn0.04合金的热稳定性。未覆盖薄膜50分钟后发生相分离,伴随空洞形成、厚度减少60%及E2临界点400 meV蓝移,与表面偏析导致替代位Sn耗尽一致;而覆盖超薄氧化层的薄膜成分变化小于1 at.% Sn、光学偏移小于20 meV,且接触电阻率降低25倍。结果表明表面Sn输运是主要退化路径,氧化层覆盖可扩展亚稳IV族合金的热稳定窗口。
意义:为硅基红外光子学中SiGeSn器件的后处理热预算提供实用解决方案,有助于推动亚稳IV族合金的集成。