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虚拟制造结合应力物理：解决GAA沟道不均匀性
Virtual Fabrication Meets Stress Physics: Solving GAA Channel Non-Uniformity
摘要显示，在环绕栅极（GAA）器件中，堆叠纳米片之间即使存在微小失衡，也会以难以仅从几何结构预测的方式扭曲器件行为。该文提出将虚拟制造与应力物理相结合的方法，以应对GAA沟道非均匀性挑战。
意义：GAA是先进制程关键结构，非均匀性影响器件性能与良率，虚拟制造结合应力物理为工艺优化提供新思路。