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英特尔将High-NA EUV投入量产，但拼接技术仍待验证
Intel Puts High-NA EUV into Production, but Stitching Still Has Something to Prove
摘要显示，Intel已在Panther Lake芯片制造中验证High-NA EUV光刻技术，并投入量产。但报道指出，电气拼接（electrical stitching）和更大掩模版仍是后续需要克服的障碍。
意义：High-NA EUV量产落地将影响先进制程演进，拼接与掩模技术是后续良率与扩展关键。