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    中国3D DRAM攻关:从实验室到晶圆厂及未来路径

    Inside China's 3D DRAM push: from lab to fab, and the road ahead

    中国3D DRAM研发正从早期研究转向晶圆工艺与设备,参与方包括中科院微电子所、北京超弦存储器研究院、长鑫存储及设备厂商。