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• 资讯公开站digitimes_rss2026年9月29日 7:57

  超越ASML：中国以光源策略重新思考EUV竞赛

  Beyond ASML: China rethinks EUV race with light-source strategy

  中国正试图拓宽极紫外（EUV）竞赛的定义，研究人员不再仅聚焦打造ASML光刻平台的国产替代，而是探索替代性EUV光源。

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