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  • 论文公开站arXiv

    AgTaO3的分子束外延

    Molecular Beam Epitaxy of AgTaO3

    摘要显示,研究者首次采用分子束外延(MBE)在(001)和(111)取向SrTiO3衬底上,通过银原子与TaO2层顺序沉积并在臭氧/氧气(80% O3 + 20% O2)气氛下生长出单晶AgTaO3薄膜。X射线衍射与倒易空间映射表明薄膜与衬底共格应变、摇摆曲线锐利;HAADF-STEM证实(001)取向薄膜缺陷低,而(111)取向薄膜在约10 nm后出现富Ta表面区。

    意义:为银基钽酸盐薄膜提供可外延生长平台,便于研究应变工程与界面新物性,对氧化物电子学与量子材料器件探索有参考价值。

    分子束外延 AgTaO3 氧化物薄膜 应变工程